性能/參數(shù)

多種氣體可選系列質(zhì)量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置90條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點(diǎn)/滿量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

0.5-

響應(yīng)時間

100毫秒(調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25ºC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

大工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

20SLPM以內(nèi)：250mA

50SLPM以內(nèi)：750mA

注：5000SLPM消耗2000mA電流